利用原子荧光谱线的波长和强度进行物质的定性与定量分析的方法。原子蒸气吸收特征波长的辐射之后，原子激发到高能级，激发态原子接着以辐射方式去活化，由高能级跃迁到较低能级的过程中所发射的光称为原子荧光。当激发光源停止照射之后，发射荧光的过程随即停止。 原子荧光可分为 3类：即共振荧光、非共振荧光和敏化荧光，其中以共振原子荧光，原子荧光光度计，在分析中应用。共振荧光是所发射的荧光和吸收的辐射波长相同。只有当基态是单一态，不存在中间能级，才能产生共振荧光。非共振荧光是激发态原子发射的荧光波长和吸收的辐射波长不相同。非共振荧光又可分为直跃线荧光、阶跃线荧光和反斯托克斯荧光。直跃线荧光是激发态原子由高能级跃迁到高于基态的亚稳能级所产生的荧光。阶跃线荧光是激发态原子先以非辐射方式去活化损失部分能量，回到较低的激发态，双通道原子荧光光度计，再以辐射方式去活化跃迁到基态所发射的荧光。直跃线和阶跃线荧光的波长都是比吸收辐射的波长要长。反斯托克斯荧光的特点是荧光波长比吸收光辐射的波长要短。敏化原子荧光是激发态原子通过碰撞将激发能转移给另一个原子使其激发，后者再以辐射方式去活化而发射的荧光。
我国从20世纪70年代中期开始研制原子荧光光谱仪器，原子荧光技术及其商品化仪器在我国得到飞速发展和普及推广。
1975年，西北大学研制出以低压---灯作光源的冷原子荧光测---仪；同期，中科院上海冶金研究所研制出用高强度空心阴极灯作光源、氮隔离空气-火焰作原子化器的双道无色散afs仪。
1979年，西北有色地质研究院成功研制了以化物无极放电灯作激发光源的hg afs仪，为原子荧光光谱仪在我国成功实现商品化奠定了重要基础；该院随后研制开发了wyd、xdy-1等双道afs仪。
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外路气体进入光度计通常是作为载气和屏蔽气，当载气量不足时，反应物不能完全被载气载入原子化器中进行下一步的反应，进而使得元素荧光检测结果偏低。主要使得载气量不足原因：首先，泵管接头处密封不严密，大量的载气从接口缝隙中散失；再有，由于长期使用光度计，而维护修理工作不---，硅胶管长期没有更换而发生老化，出现裂痕，载气在经过硅胶管时散失；另外，在检测中，酸性试剂倒流造成气管流路的腐蚀，终使得载气经过气路时流量大量损耗。对于光度计气路的维护方法：采用较好的密封垫，全自动原子荧光光度计，并将甭管接头处密封严实避免接头处气体损耗；定期的检测光度计硅胶管的使用情况，定期更换硅胶管以---其；查明酸性试剂倒流的原因，并及时的修整，并将因酸性腐蚀而损害的气路拆卸，并送到原厂或是维修厂进行维修，在将载气流量调整正常后，将气路管重新装上。
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