测量准确程度不高也是较为多见的问题之一。若检测出的结果和实际结果的偏差较大，极有可能是因为分析方法的使用不当、样品处理过程中出现了污染损失以及干扰元素的影响没有完全性消失造成的。针对这些问题的出现，可以在实际的试验过程中对其进行针对性的解决。例如可以使用纯度较高的试剂进行试验，并且注意到对样品空白实施较为完善的处理，并使用较好的消除干扰的方法把相关干扰因素消除。另外的原因则是工作曲线的选择不合理，无法符合检查的相关要求。若样品不在曲线范围之内，可以将稀释倍数以及称量倍数等因素和工作曲线进行联合分析。若符合其要求则可较好的对这一问题进行解决。但需注意的是，若工作曲线的线性不好，需要注意到仪器污染和容器污染等因素，选择干净器皿，消除这种情况的出现。
由于原子荧光是向空间各个方向发射的，比较容易制作多道仪器，因而能实现多元素同时测定。
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